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ZY-PE400
负载能力400kg, 最大平移运动范围±200mm, 最大旋转运动范围±20°, 平台零位高度650mm。
采用标准Stewart并联构型,由动平台、静平台及六条运动支链构成。系统可实现空间六个 自由度(三轴平移 + 三轴旋转)的灵活运动,具有安装方式灵活、负载能力强、微米级精 准定位等优点,广泛满足高端制造与前沿科研领域对精密定位的严苛要求。
产品详情
采用标准Stewart并联构型,由动平台、静平台及六条运动支链构成。系统可实现空间六个自由度(三轴平移+三轴旋转)的灵活运动,具有安装方式灵活、负载能力强、微米级精准定位等优点,广泛满足高端制造与前沿科研领域对精密定位的严苛要求。
典型应用-Typical Applications:
□精准医疗 □半导体加工制造 □高能物理研究 □深空探测
结构示意-Drawings / Images

PE-400 | 单位-Unit | |
※运动空间-Travel range | ||
Tx,Ty,Tz | ±200,±200,±150 | mm |
Rx,Ry,Rz | ±20,±20,±20 | deg |
※重复定位精度- Repeatability | ||
Tx,Ty | ±0.5 | μm |
Tz | ±0.3 | μm |
Rx,Ry | ±3 | μrad |
Rz | ±6 | μrad |
最小步长-Min. incremental motion | ||
Tx,Ty,Tz | 0.3 | μm |
Rx,Ry,Rz | 2 | μrad |
运行速度-Velocity | ||
Tx,Ty,Tz | 0.8 , 0.8 , 0.4 | mm/s |
Rx,Ry,Rz | 0.2 , 0.2 , 0.4 | deg/s |
反向间隙-Backlash | ||
Tx,Ty | 5 | μm |
Tz | 3 | μm |
Rx,Ry | 25 | μrad |
Rz | 50 | μrad |
系统刚性- Stiffness | ||
X,Y | 8.5 | N/μm |
Z | 30 | N/μm |
其他性能- Other performance | ||
负载能力(正装/任意)-Load(base plate horizontal / any ) | 400/140 | Kg |
断电保持力(正装/任意)-Holding force(base plate horizontal / any ) | 4000/1400 | N |
质量-Mass | 100 | Kg |
编码器类型-Encoder types | 绝对光栅尺 | |
工作温度-Operating temperature range | 0~50 | ℃ |
供电需求-Main power | 110-220VAC/50-60Hz | |
可选项-Other options | 兼容洁净室/兼容真空环境 | |
※运动空间为系统在零位状态下,单自由度最大运动范围
※所有数值均在环境温度22±3℃、设备无负载情况下测定
※重复定位精度为单向重复定位精度,取±1个标准差
※数据采集过程中,各自由度运动均未进行补偿
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